一种制备高纯气体的方法
公开了一种制备高纯气体的方法，包括以下步骤：步骤1)、原料气体通过原料气体管道送至制备装置中；步骤2)、进入制备装置中的原料气体依次通过气液分离器，冷凝器和反应塔后处理后形成成品气体，进入成品气体管道送至用户；步骤3)、成品气体通过出气三通球阀的调整，部分成品气回流至反应塔，其中反应塔启动再生及反应功能处理后，进入再生成品气体管道。本发明能够可根据总产气量的变化达到全自动再生气体的恒流量调节；可通过再生半成品气体露点信号与再生塔电加热器的运行工况连锁调整，从而达到系统节能一种制备高纯气体的方法

本发明属于气体生产及制备领域，具体涉及一种制备高纯气体的方法。
在现代高纯度的气体制备工艺中，常通过三塔纯化装置对气体中的相关杂质及水分进行反应。为保证设备的连续运行，其中的三个塔根据阀门的不断调整，在不同时间段依次处于再生、反应及正常工作状态。
针对现有高纯气体的三塔纯化装置及工艺中的再生过程，其作用是将已经饱和的分子筛等反应剂在电加热的工况下，通过干燥的成品气实施再生作用。但是实际生产中存在生产出的成品总气量的需求是变化的，无法保证从中分流出来的再生气体恒量通过再生反应塔参与再生，将导致反应塔的加热温度不稳定及再生效果受到严重的影响。
长期如此运行的话，将对设备的使用寿命、产品质量及节能降耗等方面都有着严重的影响。